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集成电路制造技术与实践
主讲教师: 赵天龙 主页面浏览量:5242 课时:32课时 选课人数:31人
开课时间:2022年01月02日~ 2022年06月30日
教学进度: 未开始 进行中 已结束

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这门课会讲什么?
在科技飞速发展的21世纪,集成电路制造业是一项战略性的基础产业,而集成电路制造技术是微电子领域的关键技术,是将当今各种半导体芯片由理论设计变为现实的重要手段,也是微电子专业、电子科学与技术专业和其他相关专业一门核心的专业课程。 《集成电路制造技术》课程的主要内容是介绍超大规模集成电路制造的主要工艺方法与原理,通过本课程的学习,使学生能够掌握集成电路制造技术基本理论、基本知识、基本方法和基本技能,对集成电路制造技术有一个较为完整与系统的,了解与集成电路制造密切相关的新材料、新技术、新设备与新工艺,使学生具有一定的工艺分析和设计、解决工艺问题和提高产品质量的能力,培养学生从事集成电路制造工艺与设计的基本素质,为后续相关课程奠定必要的理论与实践基础,为学生今后从事集成电路的制造、生产设计打下坚实的基础。
师资团队
  • 赵天龙 / 西安电子科技大学(联盟)

参考教材

1.Microchip Fabrication-A Practical Guide to Semiconductor Processing(Sixth Edition),Peter Van Zaant,电子工业出版社,2014年11月.

2.纳米集成电路制造工艺(第二版),张汝京等编著,清华大学出版社,2017年1月.

3.微电子制造科学原理与工程技术(第二版),Stephen A. Campbell著,曾莹等译,电子工业出版社,2004年1月.

4.硅集成电路工艺基础,关旭东,北京大学出版社,2003年10月,第1版.


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