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集成电路制造技术与实践
主讲教师: 戴显英 主页面浏览量:231430 课时:40课时 选课人数:191人
开课时间:~
教学进度: 未开始 进行中 已结束

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  • 课程介绍
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  • 参考教材
这门课会讲什么?
本课程创建于1959年,是国家级一流专业微电子科学与工程(教改班)的专业核心课。1958年,课程创始人孙青等教师制备我国高校第一支半导体锗单晶,开创了本课程理论联系实践的教学特色。1970年5月7日,自主创建了一条完整的半导体生产线,至今仍是国内少数拥有工艺实践教学的课程。2015年,开设了西电SPOC课程,开始了线上线下混合教学。2020年并入了半导体器件工艺设计课程,7个平行班均为混合式教学。2022年建设爱课程和e-MOOC联盟的现代集成电路制造技术MOOC,2022年增设集成电路制造技术与工艺实践(卓越班)和微纳集成电路工艺(教改班)课程,课程组所有三门课、8个教学班均为混合式教学。 目前课程组(包括集成电路制造技术与工艺实践和微纳集成电路工艺(微电子科学与工程教改班)课程)教学团队12人,均为博士学位,其中教授及博导4人、副教授及硕导5人、讲师及硕导1人、助教2人,形成了年龄与知识结构合理、具有创新意识、科研能力强的教学团队。 课程团队始终秉持“以学生为中心,德育为先,能力为重,知识为基,创新精神”的人才培养理念,进行教学设计和教学实践。课程坚持知识、能力和素质有机融合的教学目标,使学生系统掌握现代集成电路制造技术的专业知识,深刻理解集成电路制造技术对环境和社会发展的影响,具备深度分析和解决复杂问题的能力,培养勇于质疑、大胆创新的精神和能力,传承西电红色基因,塑造国家建设和社会发展的合格人才。 经过六十多年的发展,课程组形成了以下特色:①集体思维研讨式教学:以问题为导向,从课前小组讨论问题,到课中师生共同研讨关键问题解决思路;从课后小组分析讨论翻转课堂资料,再到课中翻转课堂展开集体辩论,以集体智慧实现对知识的掌握与应用,培养团队精神。②培养创新思维和科学精神的科教融合教学:基于国家级科研成果和前沿技术,将思政元素与创新技术案例有机融合,学习创新方法,开拓学术视野,培养科学精神。③提升解决复杂工艺问题能力的产教融合实践教学:基于企业工艺难题,开展高水平产教融合工艺设计,提升创新能力和复杂问题解决能力。④三位一体创新课程知识体系:将工艺原理、工艺仿真和工艺设计有机结合,体现了后摩尔定律工艺知识体系,有效支撑了复杂工艺工程问题解决能力、创新意识与创新思维的培养。⑤四上四下教学法:将自学、讲授、研讨、案例、翻转课堂、工艺仿真和工艺设计等教学模式有机混合到线上线下,合理安排到课前课中课后,进行回溯递进教学,实现对知识的深刻理解、熟练掌握与灵活应用。⑥西电红色精神特色的全过程课程思政:以元素多元、模式多样、线上线下混合、贯穿教学全过程的西电红色精神特色课程思政,切实解决了课程思政内容单调、模式单一、无特色等问题。
师资团队
  • 戴显英 / 西安电子科技大学

  • 毛维 / 西安电子科技大学

  • 魏葳 / 西安电子科技大学

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    荣誉与奖励





  • 赵天龙 / 西安电子科技大学

    研究领域




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    荣誉与奖励





  • 王树龙 / 西安电子科技大学

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  • 刘红侠 / 西安电子科技大学

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  • 杨力宏 / 西安电子科技大学

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  • 宋建军 / 西安电子科技大学

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第14章 案例教学-高应力氮化硅致应变SOI技术

第15章 专题研讨-延续摩尔定律的创新工艺技术

第16章 翻转课堂-课程论文答辩

参考教材

1、[美]Gary S.May,施敏,半导体制造基础(中英文),安徽大学出版社,2020.9;人民邮电出版社,2007.11。

2、张汝京,《纳米集成电路制造工艺》(第二版)(Nanoscale Integrated Circuits-The Manufacturing Process),清华大学出版社,2017.1

3、Peter Van Zant,《Microchip Fabrication-A Practical Guide to Semiconductor Procssing》(英文第六版),电子工业出版社,2014.11

4、温德通,集成电路制造工艺与工程应用,机械工业出版社,2018.7

5、Stephen A. Campbell ,微电子制造科学原理与工程技术(第二版),电子工业出版社,2004.1

6、[美]Hwaiyu Geng,半导体集成电路制造手册,电子工业出版社,2006.12


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