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这门课会讲什么?
集成电路技术是信息技术的基石,是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性技术,而集成电路制造技术又是制约集成电路发展的关键技术。
本课程创建于1959年,是国家级一流专业微电子科学与工程和集成电路设计与集成系统的特色骨干专业课。目前课程团队10人,均为博士学位,其中教授及博导4人、副教授及硕导4人、教师及硕导1人、助教2人,形成了年龄与知识结构合理、具有创新意识、科研能力强的教学团队。
1960年,课程创始人孙青等教师制备我国高校第一支半导体锗单晶,开创了本课程理论联系实践的教学特色。1980年初,自主创建了一条完整的半导体生产线,至今仍是国内少数拥有工艺实践教学的课程。
课程团队始终秉持“以学生为中心,德育为先,能力为重,知识为基,创新精神”的人才培养理念,进行教学设计和教学实践。
课程坚持知识、能力和素质有机融合的教学目标,使学生系统掌握现代集成电路制造技术的专业知识,深刻理解集成电路制造技术对环境和社会发展的影响,具备深度分析和解决复杂问题的能力,培养勇于质疑、大胆创新的精神和能力,传承西电红色基因,塑造国家建设和社会发展的合格人才。
师资团队
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- 戴显英 / 西安电子科技大学
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- 毛维 / 西安电子科技大学
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第2章 硅单晶与硅片制备
第3章 氧化
第5章 离子注入
第7章 化学气相淀积
第9章 光刻工艺
第10章 刻蚀
第12章 工艺集成与工艺流程
第13章 工艺仿真与工艺设计虚拟实践教学
第14章 案例教学-高应力氮化硅致应变SOI技术
第15章 专题研讨-延续摩尔定律的创新工艺技术
第16章 翻转课堂-课程论文答辩
第17章 课程总结
参考教材
1、[美]Gary S.May,施敏,半导体制造基础(中英文),安徽大学出版社,2020.9;人民邮电出版社,2007.11。
2、张汝京,《纳米集成电路制造工艺》(第二版)(Nanoscale Integrated Circuits-The Manufacturing Process),清华大学出版社,2017.1
3、Peter Van Zant,《Microchip Fabrication-A Practical Guide to Semiconductor Procssing》(英文第六版),电子工业出版社,2014.11
4、温德通,集成电路制造工艺与工程应用,机械工业出版社,2018.7
5、Stephen A. Campbell ,微电子制造科学原理与工程技术(第二版),电子工业出版社,2004.1
6、[美]Hwaiyu Geng,半导体集成电路制造手册,电子工业出版社,2006.12

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